技术参数：

ESA15-D：最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)：1,400/1,700；

ESA25-D：最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)：2,500/3,000；

ESA25XW：最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)：5,000/6,000；

ESA70W(-D)、 ESA70WN(-D)：最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)：7,000/8,400；

ESA700W：最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)：80,000等

产品特点：

适用于大型真空腔室的高速抽气场景；搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）；可满足有机溶剂要求的可选配件。

应用领域：

在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。

上海正派电气科技有限公司是日本荏原（EBARA）的正规授权销售和服务商，全面提供荏原公司全系列产品。包括：离心泵、污水泵、真空泵、供水机组、管道泵、消防泵、特种泵等。对于荏原的各类泵有完备的库存体系，能够满足客户的现货需求。

公司有专业人员负责各种售后和维护服务，且配备具有多年行业经验的技术人员承担旧泵、坏泵的各类损坏维修和维护。24小时为客户提供最优质的产品和服务。

我们竭诚为新老客户提供周到的服务和优质的产品！