技术参数：

EV-M20N：最大抽气速率(L/min)：1,800；功率(极限压力时)(kW)：1.2；

EV-M802N：最大抽气速率(L/min)：80,000；功率(极限压力时)(kW)：2.8等

产品特点：

产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求;兼顾高负荷与低功耗;可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）

应用领域：

应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。

上海正派电气科技有限公司是日本荏原（EBARA）的正规授权销售和服务商，全面提供荏原公司全系列产品。包括：离心泵、污水泵、真空泵、供水机组、管道泵、消防泵、特种泵等。对于荏原的各类泵有完备的库存体系，能够满足客户的现货需求。

公司有专业人员负责各种售后和维护服务，且配备具有多年行业经验的技术人员承担旧泵、坏泵的各类损坏维修和维护。24小时为客户提供最优质的产品和服务。

我们竭诚为新老客户提供周到的服务和优质的产品！